国家02专项完成时间是2021年6月10日。6月10日，国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项实施管理办公室组织综合绩效评价专家组对02重大专项集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术项目进行了综合绩效评价。02专项即《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目，因次序排在国家重大专项所列16个重大专项第二位，在行业内被称为02专项。02专项的重点是进行45-22纳米关键制造装备攻关，开发32-22纳米互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺、90-65纳米特色工艺，开展22-14纳米前瞻性研究，形成65-45纳米装备、材料、工艺配套能力及集成电路制造产业。
